用于测量测量目标的具有镜面装置的干涉仪

摘要

本发明提出了一种用于对测量目标(5)，特别是测量目标(5)的厚度进行测量的干涉仪式的测量装置(1)。在这种情况中，专用镜头(45)设有镜面装置(40)，该镜面装置由至少一个第一偏转镜面(60)和一个第二偏转镜面(65)组成，并且这些偏转镜面是如此设置的，即射到第一偏转镜面(60)或者说第二偏转镜面(65)的目标光线(25)对准彼此反向平行的第一光程(80)或者说第二光程(85)中的待测量的测量目标(5)的第一侧面(70)或者说与它平行的第二侧面(75)。镜面装置(40)附加地具有至少一个用于投影待测量的测量目标(5)相对于第一偏转镜面(60)和/或第二偏转镜面(65)的位置的第一位置镜面(104)。

主权项

1.用于对测量目标(5)进行测量的干涉仪式的测量装置(1)，其具有光源(10)、用于形成基准光线(20)和目标光线(25)的分光器(15)、在基准光程(35)中的基准镜面(30)、在目标光程(50)中的具有镜面装置(40)的专用镜头(45)和摄像机(55)，其中，镜面装置(40)由至少一个第一偏转镜面(60)和一个第二偏转镜面(65)组成，并且这些偏转镜面是如此设置的，即射到第一偏转镜面(60)的目标光线(25)对准第一光程(80)中的待测量的测量目标(5)的第一侧面(70)，而射到第二偏转镜面(65)的目标光线(25)对准第二光程(85)中的待测量的测量目标(5)的第二侧面(75)，其中待测量的测量目标(5)的所述第一侧面(70)和第二侧面(75)相互平行并且第一光程(80)和第二光程(85)彼此反向平行，其特征在于，所述镜面装置(40)附加地具有至少一个用于投影待测量的测量目标(5)相对于第一偏转镜面(60)和/或第二偏转镜面(65)的位置的第一位置镜面(104)。