摘要 |
Eine dünne epitaktische Silizium-Solarzelle umfasst eine oder mehrere dotierte Oxidschichten auf der Rückseite. Eine Siliziumnitridschicht, die als Feuchtigkeitssperre dient, ist auf der einen oder auf mehreren dotierten Oxidschichten (207) gebildet. Die dotierten Oxide stellen Dotiermittel bereit, um in einer epitaktischen Siliziumschicht dotierte Regionen zu bilden. Metallkontakte werden durch die Siliziumnitridschicht und die eine oder mehrere dotierte Oxidschichten (208, 209) elektrisch mit den dotierten Regionen gekoppelt. |