Mikroheizvorrichtung für einen Sensor und Sensor

摘要

Die Erfindung betrifft eine Mikroheizvorrichtung für einen Sensor mit einem Substrat (10), einer Membran (12), wobei ein Abdeckbereich (12a) der Membran (12) eine von dem Substrat (10) zumindest teilweise umgebene Kaverne (14) zumindest teilweise überspannt und mindestens ein Randbereich (12b) der Membran (12) direkt oder indirekt an einer Oberfläche (10a) des Substrats (10) befestigt ist, und mindestens einer an und/oder in der Membran (12) angeordneten Heizleitung (16) mit zumindest je mindestens einem an und/oder in dem Abdeckbereich (12a) angeordneten Wärmeabgabeabschnitt (18), je einem an und/oder in dem Abdeckbereich (12a) angeordneten ersten Zufuhrleitungsabschnitt (20a) und je einem an und/oder in dem Abdeckbereich (12a) angeordneten zweiten Zufuhrleitungsabschnitt (20b), wobei eine erste Breite (b1) des ersten Zufuhrleitungsabschnitts (20a) ausgehend von dem von dem ersten Zufuhrleistungsabschnitt (20a) kontaktierten Wärmeabgabeabschnitt (18) bis zu dem von dem ersten Zufuhrleistungsabschnitt (20a) kontaktierten Randbereich (12b) zunimmt. Ebenso betrifft die Erfindung einen Sensor.