混合型陶瓷喷淋头

摘要

本发明提供用于衬底处理喷淋头的混合型陶瓷花盘的各种实施方案。混合型陶瓷喷淋头花盘可包括嵌入于该花盘的陶瓷材料内的电极以及穿孔图案。该电极可是相对于穿孔完全封装于该陶瓷材料内。在某些实施方案中，加热器元件也可嵌入于该混合型陶瓷喷淋头花盘内。在使用期间，DC电压源可与该混合型陶瓷喷淋头花盘电气连接。混合型陶瓷花盘可容易地从衬底处理喷淋头拆卸以便易于清洁及花盘更换。

主权项

一种气体分布装置，其包含：陶瓷花盘，其用于处理室的衬底处理喷淋头，该陶瓷花盘包括第一图案的第一通孔；电极，其包括第二图案的第二通孔；以及接触环，其具有一个或多个支座，其中所述接触环和所述一个或多个支座均是导电的并且彼此导电耦合，其中：该电极嵌入于该陶瓷花盘内，该第二图案匹配该第一图案，所述第一图案包括所有的当将所述陶瓷花盘安装于所述处理室的所述衬底处理喷淋头中时通过其使处理气体流动通过所述陶瓷花盘的孔，每个第二通孔的大小大于对应第一通孔，所述接触环环绕所述第一图案的第一通孔，所述陶瓷花盘包括在所述电极端接的一个或多个盲支座孔，每个支座延伸到对应的盲支座孔内并且与所述电极导电接触，以及当将所述陶瓷花盘安装于所述处理室的所述衬底处理喷淋头中时，所述电极形成RF等离子体生成系统的阳极或阴极。