在真空中搬运平直板的装置

摘要

提供一种作为用于在真空中处理基片的自动控制装置一部分的线性运动组合件。一个执行器组合件安装用于在直线轴承上的线性运动。末端执行器由缆索驱动，所述缆索由一个设置在邻近压力容器中的驱动器依次驱动，所述压力容器保持在大气压力。

主权项

1.一种用于在真空室中输送基片的线性运动组合件，所述的线性运动组合件包括：安装在所述真空室中的直线轴承；啮合和支撑基片用于输送的至少一个末端执行器，其安装用于在所述直线轴承上的线性运动；安装在线性运动组合件上并封装一个压力室的壳体，所述的压力室与所述的真空室隔离；以及安装在所述壳体中并与所述至少一个末端执行器可操作地连接以使所述末端执行器运动的驱动系统，其中所述的驱动系统通过一个动态密封件被连接到所述的末端执行器，以便维持所述的压力室与所述真空室的隔离。