发明名称 |
一种用于显示面板制程的烘烤设备 |
摘要 |
本发明公开了一种用于显示面板制程的烘烤设备,该烘烤设备包括设备主体,设备主体定义一容纳待烘烤基板的烘烤腔室,设备主体的顶部设置有排气通道,排气通道用于排出待烘烤基板在烘烤腔室内进行烘烤时产生的蒸汽。通过这种方式,本发明烘烤设备能够将溶剂导出,避免偶发液滴滴下导致产品报废问题,大幅度降低维护保养的频率。 |
申请公布号 |
CN105880128A |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201610424092.5 |
申请日期 |
2016.06.15 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
张瑞军;王松 |
分类号 |
B05D3/02(2006.01)I |
主分类号 |
B05D3/02(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 |
代理人 |
李庆波 |
主权项 |
一种用于显示面板制程的烘烤设备,其特征在于,所述烘烤设备包括设备主体,所述设备主体定义一容纳待烘烤基板的烘烤腔室,所述设备主体的顶部设置有排气通道,所述排气通道用于排出所述待烘烤基板在所述烘烤腔室内进行烘烤时产生的蒸汽。 |
地址 |
518006 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |