基于空间相位调制的紧凑非等光程光纤点衍射干涉仪

摘要

本发明涉及一种基于空间相位调制的紧凑非等光程光纤点衍射干涉仪，属于光学检测领域。包括光学匹配系统、分光镜、第一和第二傅里叶透镜、CCD探测器和计算机系统；还包括两头分别放置在第一和第二傅里叶透镜各自焦点处的单模光纤。本发明利用光纤可弯曲性，引导参考光束走向，而不必使用大量反射镜，这样即能减少光学元件引入误差，又有利于装置结构小型化和集成化。本发明与传统点衍射干涉仪相比只需一副空间线性载频干涉条纹图就可通过快速傅里叶变换法准确地复原出待测光波前相位分布；结构简单紧凑、无需专门的参考光；且信号光与待测光之间不存在使波前畸变的任何光学元件，复原波前准确性高；适用于各类波前相位静动态检测领域。

主权项

一种基于空间相位调制的紧凑非等光程光纤点衍射干涉仪，包括光学匹配系统(1)、分光镜(2)、第一傅里叶透镜(5)和第二傅里叶透镜(3)、CCD探测器(6)和计算机系统(7)；其特征在于还包括两头分别放置在第一傅里叶透镜(5)和第二傅里叶透镜(3)各自焦点处的单模光纤(4)；按光路描述，来自光学匹配系统(1)的激光束被分光镜(2)分为透射光和反射光，透射光通过由第一傅里叶透镜(5)、第二傅里叶透镜(3)和单模光纤(4)组成的点衍射装置，产生近似理想的平面波作为参考光；反射光直接作为信号光；通过调节分光镜(2)的倾斜角度引入空间线性载频，最后信号光与参考光在相互重叠区域发生相干，形成含有待测光波前相位全部信息的空间线性载频干涉条纹，被CCD探测器(6)采集并传送至计算机系统(7)处理。