发明名称 |
半导体装置的制造方法 |
摘要 |
一种半导体装置制造方法,具有多个电极(22)和包含配线图案(12)的配线基板(10),使搭载到配线基板(10)上的半导体芯片(20)之间的树脂(30),以树脂(30)沸点以下的温度固化,直到固化反应率达到80%以上,使配线图案(12)和电极(22)接触。然后,将电极(22)和配线图案(12)进行共晶合金连接。由此提供一种可靠性高的半导体装置制造方法。 |
申请公布号 |
CN1641831A |
申请公布日期 |
2005.07.20 |
申请号 |
CN200410081810.0 |
申请日期 |
2004.12.30 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
今井隆浩 |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/58;H01L21/60;H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李香兰 |
主权项 |
1、一种半导体装置制造方法,其特征在于,包括:工序一,具有多个电极和含有配线图案的配线基板,使搭载到上述配线基板上的半导体芯片之间的树脂,以上述树脂沸点以下温度进行固化,直到固化反应率达到80%以上,使上述电极和上述配线图案接触;及工序二,然后将每个上述电极和上述配线图案进行共晶合金连接。 |
地址 |
日本东京 |