发明名称 半导体装置的制造方法
摘要 一种半导体装置制造方法,具有多个电极(22)和包含配线图案(12)的配线基板(10),使搭载到配线基板(10)上的半导体芯片(20)之间的树脂(30),以树脂(30)沸点以下的温度固化,直到固化反应率达到80%以上,使配线图案(12)和电极(22)接触。然后,将电极(22)和配线图案(12)进行共晶合金连接。由此提供一种可靠性高的半导体装置制造方法。
申请公布号 CN1641831A 申请公布日期 2005.07.20
申请号 CN200410081810.0 申请日期 2004.12.30
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 今井隆浩
分类号 H01L21/00;H01L21/58;H01L21/60;H01L21/56 主分类号 H01L21/00
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1、一种半导体装置制造方法,其特征在于,包括:工序一,具有多个电极和含有配线图案的配线基板,使搭载到上述配线基板上的半导体芯片之间的树脂,以上述树脂沸点以下温度进行固化,直到固化反应率达到80%以上,使上述电极和上述配线图案接触;及工序二,然后将每个上述电极和上述配线图案进行共晶合金连接。
地址 日本东京
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