发明名称 SiO2レジスト層を製造するための組成物およびその使用方法
摘要 The present invention relates to compositions, which are useful for the generation of patterned or structured SiO2-layers or of SiO2-lines during the manufacturing process of semiconductor devices, and which are suitable for the application in inkjet operations. The present invention also relates to a modified process of manufacturing semiconductor devices taking advantage of these new compositions.
申请公布号 JP5931437(B2) 申请公布日期 2016.06.08
申请号 JP20110501115 申请日期 2009.03.02
申请人 メルク パテント ゲーエムベーハー 发明人 ストックム、ベルナー;ケーラー、インゴ;マイヤー、アルヤン;ブルックス、ポール・クレイグ;パターソン、カティー;ジェームズ、マーク
分类号 C23C18/06 主分类号 C23C18/06
代理机构 代理人
主权项
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