发明名称 单晶硅柱面抛光磨具
摘要 本发明公开了单晶硅柱面抛光磨具,解决了现有技术中的抛光模具使用效果不理想的问题,本发明包括板状载体(1),安装在板状载体(1)上且具有抛光面的抛光体(2);所述抛光体(2)上抛光面的长度为35~55mm。本发明具有有效使单晶硅柱面的表面粗糙度等达到设计的技术指标,甚至能超过普通磨床的加工效果的优点。
申请公布号 CN105965403A 申请公布日期 2016.09.28
申请号 CN201610579873.1 申请日期 2016.07.22
申请人 成都贝瑞光电科技股份有限公司 发明人 陈兴建;江宗宇
分类号 B24D7/18(2006.01)I 主分类号 B24D7/18(2006.01)I
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人 马碧娜
主权项 单晶硅柱面抛光磨具,其特征在于,包括板状载体(1),安装在板状载体(1)上且具有抛光面的抛光体(2);所述抛光体(2)上抛光面的长度为35~55mm。
地址 610000 四川省成都市成都高新区科园南路3号