Kapazitiver Drucksensor

摘要

Es ist ein kapazitiver Drucksensor mit einer unter Einschluss einer Druckkammer (5) auf einem Grundkörper (3) angeordneten, mit einem Druck (p) beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran (1), einer einen äußeren Rand der Messmembran (1) unter Einschluss der Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) verbindenden Aktivhartlötung (7), und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer vom zu messenden Druck (p) abhängigen Auslenkung der Messmembran (1), der mindestens einen durch eine auf einer dem Grundkörper (3) zugewandten Seite der Messmembran (1) angeordnete Membran-Elektrode (11) und eine auf einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) angeordnete Grundkörper-Elektrode (13) gebildeten Kondensator umfasst, beschrieben, der kostengünstiger, insb. mit geringer Varianz in hoher Qualität, herstellbar ist, und sich dadurch auszeichnet, dass die Membran-Elektrode (11) aus halbleitendem, dotiertem Tantaloxid, insb. halbleitendem, dotiertem Ditantalpentoxid (Ta2O5), besteht.