| 发明名称 |
GROOVED POLISHING PAD AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050078232(A) |
申请公布日期 |
2005.08.04 |
| 申请号 |
KR20050007998 |
申请日期 |
2005.01.28 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. |
发明人 |
MULDOWNEY GREGORY P. |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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