发明名称 DEVICE FOR CORRECTING THIRD-ORDER SPHERICAL ABERRATION IN A LENS, ESPECIALLY THE OBJECTIVE LENS OF AN ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP1057204(B1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP19980952539 申请日期 1998.08.29
申请人 CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH 发明人 HAIDER, MAXIMILIAN;UHLEMANN, STEPHAN
分类号 H01J37/153;G01Q30/06 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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