Verfahren zum Herstellen eines reflektiven optischen Elements, reflektives optisches Element und Verwendung eines reflektiven optischen Elements

摘要

Ein reflektives optisches Element weist ein Substrat (12), eine Überbeschichtung (16) aus zumindest einer galvanisch oder chemisch abgeschiedenen Schicht auf einer ersten Oberfläche (36) des Substrates (12) und zumindest einen Hohlraum (14) zur Aufnahme eines Fluids auf. Der zumindest eine Hohlraum (14) ist der ersten Oberfläche (36) benachbart angeordnet, wobei die Überbeschichtung (16) sich auch über den zumindest einen Hohlraum (14) hinweg erstreckt. Zumindest eine reflektive Schicht (18) ist auf der dem Substrat (12) abgewandten Oberfläche (46) der Überbeschichtung (16) angeordnet, wobei die zumindest eine reflektive Schicht (18) eine optisch wirksame Oberfläche (20) aufweist. Ein Verfahren zum Herstellen und eine Verwendung des reflektiven optischen Elements werden ebenfalls beschrieben.