发明名称 Method of repairing phase-shifting lithographic masks
摘要
申请公布号 SG68535(A1) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 SG19960000507 申请日期 1992.09.10
申请人 AT&T CORP. 发明人 PIEERAT CHRISTOPHE
分类号 G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
地址