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发明名称
摘要
申请公布号 JP3859119(B2) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 JP20000390064 申请日期 2000.12.22
申请人 发明人
分类号 G02F1/1343;H01B1/02;C23C14/14;C23C14/34;H01B5/14;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;H05K1/09 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
主权项
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