| 发明名称 | 抛光垫及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明主要涉及一种抛光垫及其制造方法。所述抛光垫包含一基础材料，所述基础材料具有一表面，用于抛光一衬底，其中所述表面包含一非织布和一弹性体。所述非织布由一长纤维制成，且所述弹性体嵌入所述非织布中。 | ||
| 申请公布号 | CN101219534A | 申请公布日期 | 2008.07.16 |
| 申请号 | CN200710097964.2 | 申请日期 | 2007.04.25 |
| 申请人 | 三芳化学工业股份有限公司 | 发明人 | 冯崇智;姚伊蓬;赵征祥;洪永璋 |
| 分类号 | B24D17/00(2006.01);B24B29/00(2006.01);H01L21/304(2006.01);B24D18/00(2006.01) | 主分类号 | B24D17/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘国伟;臧慧敏 |
| 主权项 | 1.一种抛光垫，其包含一基础材料，所述基础材料具有一表面，用于抛光一衬底，其中所述表面包含非织布和一弹性体，所述非织布由一长纤维制成，且所述弹性体嵌入所述非织布中。 | ||
| 地址 | 中国台湾高雄市 | ||