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发明名称 Prüfstation mit innerer und äußerer Abschirmung
摘要
申请公布号 DE19825274(B4) 申请公布日期 2009.03.19
申请号 DE19981025274 申请日期 1998.06.05
申请人 CASCADE MICROTECH INC. 发明人 PETERS, RON A.;HAYDEN, LEONARD A.;HAWKINS, JEFFREY A.;DOUGHERTY, MARK R.
分类号 G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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