Mikroelektromechanisches System

摘要

Ein mikroelektromechanisches System weist ein Trägersubstrat auf. Ein Halbleiterchip ist in dem Trägersubstrat oder auf dem Trägersubstrat angebracht. Außerdem ist ein mikroelektromechanisches Bauteil an dem Trägersubstrat angebracht. Dabei ist das mikroelektromechanische Bauteil zumindest teilweise über dem Halbleiterchip angeordnet.