具有多晶硅层的显示面板及其制造方法

摘要

一种显示面板，包括一基板和形成于基板上的多个薄膜晶体管。其中基板包括一显示区域及一驱动电路区域。而薄膜晶体管包括第一组薄膜晶体管，位于驱动电路区域，具有一第一多晶硅层，且第一多晶硅层由一金属诱发横向结晶法(MILC)而制成；和第二组薄膜晶体管，位于显示区域，具有一第二多晶硅层，且第二多晶硅层的一部分由一固相结晶法(SPC)所制成，其余部分则以MILC制成。

主权项

1. 一种显示面板，包括：一基板，包括一显示区域及一驱动电路区域；及多个薄膜晶体管，形成于该基板上，包括：一第一组薄膜晶体管，位于该驱动电路区域，具有一第一多晶硅层，且该第一多晶硅层由一金属诱发横向结晶法而制成；和一第二组薄膜晶体管，位于该显示区域，具有一第二多晶硅层，且该第二多晶硅层的一部分由一固相结晶法制成，该固相结晶法制成的该第二多晶硅层的该部分位于该第二组薄膜晶体管的沟道的下方，其余部分则以该金属诱发横向结晶法制成。