一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法

摘要

本发明实施例提供一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法，涉及显示技术领域，能够解决现有技术中采用颜料修复法时，修复后的薄膜层厚度不均匀的问题。其中，所述薄膜图案修复装置包括物料供给控制器、至少一个物料瓶、至少一个修复部以及修复驱动器。在修复驱动器的驱动下，修复部平行于待修复表面移动，并将在物料供给控制器的控制下，从物料瓶供给至修复部的物料涂覆于待修复区域。

主权项

一种薄膜图案修复装置，其特征在于，包括：物料供给控制器，其输出端连接至少一个第一压缩气体输送管的一端；至少一个物料瓶，所述物料瓶的进气口与所述第一压缩气体输送管的另一端相连接；至少一个修复部，所述修复部的进料口，通过一个柔性物料输送管与一个所述物料瓶的出料口相连接，用于进行物料滴涂；修复驱动器，与所述修复部相连接，用于驱动所述修复部平行于待修复表面移动，以将所述物料涂覆于待修复区域。