| 发明名称 |
Thermally actuated microvalve with multiple fluid ports |
| 摘要 |
A MEMS device is disclosed having a single microvalve actuator for controlling multiple microvalves.
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| 申请公布号 |
US2008047622(A1) |
申请公布日期 |
2008.02.28 |
| 申请号 |
US20070731729 |
申请日期 |
2007.03.30 |
| 申请人 |
FULLER EDWARD N;HUNNICUTT HARRY A |
发明人 |
FULLER EDWARD N.;HUNNICUTT HARRY A. |
| 分类号 |
F16K11/00;F16K31/02 |
主分类号 |
F16K11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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