发明名称 METHOD FOR FORMING THIN FILM, SUBSTRATE HAVING TRANSPARENT ELECTROCONDUCTIVE FILM AND PHOTOELECTRIC CONVERSION DEVICE USING THE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1462541(A4) 申请公布日期 2008.03.19
申请号 EP20020788704 申请日期 2002.12.03
申请人 NIPPON SHEET GLASS COMPANY, LIMITED 发明人 FUJISAWA, AKIRA;SUEYOSHI, YUKIO;HIRATA, MASAHIRO;YAMAMOTO, TORU;KIYOHARA, KOICHIRO;ICHIKI, KIYOTAKA
分类号 C03C17/245;C03C17/34;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/54;H01L31/18;(IPC1-7):C23C16/40;H01L31/04 主分类号 C03C17/245
代理机构 代理人
主权项
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