ヒドロクロロシラン生産における腐食及びファウリングを低減する方法

摘要

ヒドロクロロシラン生産プラントにおいて、ケイ化鉄及び／若しくはリン化鉄のファウリング（汚損）、並びに／又は、腐食を低減するための方法が開示されている。四塩化ケイ素プロセス流に十分な水素が添加され、それにより、鉄（ＩＩ）塩化物形成が抑制され、ケイ化鉄及び／若しくはリン化鉄のファウリング、過熱装置の腐食、又は、これらの組み合わせが低減される。四塩化ケイ素プロセス流にトリクロロシランが添加されてもよい。