| 发明名称 | 基于PDHF/TiO<sub>2</sub>/PDHF双异质结型空穴增益紫外探测器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种基于PDHF/TiO<sub>2</sub>/PDHF双异质结型空穴增益紫外探测器及其制备方法，属于半导体紫外光电探测技术领域。从下至上依次由衬底(石英片、硅片或氟化钙片)、采用溶胶‑凝胶法在衬底上制备的纳米TiO<sub>2</sub>薄膜、采用旋涂法在TiO<sub>2</sub>薄膜表面制备的PDHF薄膜、在PDHF薄膜表面采用磁控溅射法制备的金属(Au、Pt或Ni)叉指电极组成。在叉指电极间形成PDHF/TiO<sub>2</sub>/PDHF双异质结构，在暗态时可以有效阻挡电子传输，在紫外光照下又可形成空穴增益，使器件暗电流被明显改善的同时，光电流也有一定提高，性能得到全面提升。 | ||
| 申请公布号 | CN105810828A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201610208947.0 | 申请日期 | 2016.04.06 |
| 申请人 | 吉林大学 | 发明人 | 阮圣平;张德重;董玮;郭文滨;沈亮;周敬然;温善鹏;张歆东;刘彩霞 |
| 分类号 | H01L51/42(2006.01)I;H01L31/109(2006.01)I;H01L31/11(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人 | 刘世纯;王恩远 |
| 主权项 | 一种基于PDHF/TiO<sub>2</sub>/PDHF双异质结型空穴增益紫外探测器，其特征在于：从下至上依次由衬底、采用溶胶‑凝胶法在衬底上制备的纳米TiO<sub>2</sub>薄膜、采用旋涂法在TiO<sub>2</sub>薄膜表面制备的PDHF薄膜、在PDHF薄膜表面采用磁控溅射法制备的金属叉指电极组成；其中，衬底的厚度为0.5～1.5mm，纳米TiO<sub>2</sub>薄膜的厚度为80～120nm，PDHF薄膜的厚度为3～15nm，叉指电极的厚度为100～150nm，电极长度、电极间距、电极宽度分别为0.8～1.2mm、10～30μm、10～30μm。 | ||
| 地址 | 130012 吉林省长春市前进大街2699号 | ||