发明名称 | 利用AFM的探针制备图形衬底的定位纳米压印系统 | ||
摘要 | 一种利用AFM的探针制备图形衬底的定位纳米压印系统,该系统包括:一与其他真空生长设备相兼容的超高真空室;一原子力显微镜,其固定在超高真空室的底部;一衬底托固定装置,其固定在原子力显微镜的上面,该衬底托固定装置的中间有一孔洞;一衬底托,其位于衬底托固定装置中间的孔洞上面;一机械臂,其固定在超高真空室的上面,用于衬底托的传递;一探针置换腔,其固定在超高真空室的侧壁上,用于原子力显微镜探针的更换;一监控系统,用于原子力显微镜制备压印图形的控制。本发明具有图形精度高(高于50nm)、外延损伤小和利于制备高集成度阵列光电子器件等特点。 | ||
申请公布号 | CN103592818B | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
申请号 | CN201310594552.5 | 申请日期 | 2013.11.21 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 査国伟;牛智川;倪海桥;尚向军;贺振宏 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
主权项 | 一种利用原子力显微镜探针制备图形衬底的定位纳米压印系统,该系统包括:一与其他真空生长设备相兼容的超高真空室;一原子力显微镜,其固定在超高真空室的底部;一衬底托固定装置,其固定在原子力显微镜的上面,该衬底托固定装置的中间有一孔洞;一衬底托,其位于衬底托固定装置中间的孔洞上面;一机械臂,其固定在超高真空室的上面,用于衬底托的传递;一探针置换腔,其固定在超高真空室的侧壁上,用于原子力显微镜探针的更换;一监控系统,用于原子力显微镜制备压印图形的控制。 | ||
地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |