| 发明名称 | 具有放电灯的照明装置，照明方法及具有该照明装置的曝光装置 | ||
| 摘要 | 本发明的放电灯具有：多个放电灯；照度检测部，其检测从多个放电灯照射的照明光的照度；以及照度控制部，其根据检测出的放电灯的照度，调整针对多个放电灯的输入电力，照度控制部针对多个放电灯中的、具有超过了根据基准照度值而确定的允许阈值的照度值的放电灯，以使照度朝向在允许阈值与基准照度值之间确定的鲁棒阈值而变化的方式进行电力调整。 | ||
| 申请公布号 | CN104185894B | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
| 申请号 | CN201380013424.5 | 申请日期 | 2013.03.28 |
| 申请人 | 株式会社ORC制作所 | 发明人 | 金井信夫;木村英治;藤森昭芳;三井胜 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H05B37/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
| 主权项 | 一种照明装置，其特征在于，该照明装置具有：多个放电灯；照度检测部，其检测从所述多个放电灯照射的照明光的照度；以及照度控制部，其根据检测出的放电灯的照度，调整针对所述多个放电灯的输入电力，所述照度控制部针对所述多个放电灯中的、具有超过了根据基准照度值而确定的允许阈值的照度值的放电灯，以使照度朝向在允许阈值与基准照度值之间确定的鲁棒阈值而变化的方式进行电力调整。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||