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发明名称 GCIB PROCESSING TO IMPROVE INTERCONNECTION VIAS AND IMPROVED INTERCONNECTION VIA
摘要
申请公布号 EP1442153(A4) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 EP20020778525 申请日期 2002.10.11
申请人 EPION CORPORATION 发明人 SKINNER, WESLEY, J.;HAUTALA, JOHN, J.
分类号 H01L21/302;C23C14/32;H01J37/305;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/322;H01L21/461;H01L21/768;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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