发明名称 一种LED微显示阵列倒装芯片及制作方法
摘要 本发明公开了一种LED微显示阵列倒装芯片及制作方法,该倒装芯片包括衬底、阵列蚀刻在衬底上的多个凹槽、填充在凹槽中的透明薄膜层和设于衬底上的LED微像素阵列,各LED微像素和凹槽一一对应;所述透明薄膜层的折射率>2.3,对蓝光或绿光的透过率>97%。各LED微像素包括依次沉积在衬底上的N型GaN层、多量子阱层和P型GaN层,各LED微像素阵列的N型GaN层连为一体,形成一个共阴极,其上沉积有N电极金属接触层;LED微像素区P型GaN层上沉积有P电极金属接触层。本发明LED微显示阵列倒装芯片通过在衬底上沉积高折射率透明薄膜层材料,实现了发光层光源的更好汇聚,解决了光进入低折射率蓝宝石衬底后会发散的问题,减少了像素单元之间出光的干扰,提升了LED微显示阵列的分辨率。
申请公布号 CN106206605A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610631000.0 申请日期 2016.08.04
申请人 上海君万微电子科技有限公司 发明人 石素君;许键;张雪峰
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙) 32238 代理人 吴静安;赵超
主权项 一种LED微显示阵列倒装芯片,其特征在于:包括衬底、阵列蚀刻在衬底上的多个凹槽、填充在凹槽中的透明薄膜层和设于衬底上的LED微像素阵列,各LED微像素和凹槽一一对应;所述透明薄膜层的折射率>2.3,对蓝光或绿光的透过率>97%。
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