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发明名称 Verfahren zur Korrektur physikalisch bedingter Fehler bei der Messung eines Objekts
摘要
申请公布号 DE10235437(B4) 申请公布日期 2007.09.20
申请号 DE20021035437 申请日期 2002.08.02
申请人 PDF SOLUTIONS GMBH 发明人 PETER, KAI;EISENMANN, HANS
分类号 G01B11/30;G01B11/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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