用于定位负载的电动机系统

摘要

本发明提供一种电动机系统和一种定位负载的方法。该系统包括诸如XY工作台的支撑装置以支撑负载。一第一电动机和一第二电动机协作以驱动负载，其中在定位负载的定位序列期间，第一电动机适于提供比第二电动机较高的推动力，而第二电动机适于提供比第一电动机较高的定位精度。

主权项

1.一种用于定位负载的电动机系统，其包括用以支撑所述负载的支撑装置；和第一电动机；及第二电动机，第一电动机和第二电动机操作地驱动相同的所述负载，从而所述第一和第二电动机不是每个分别驱动各自其它的负载而是都驱动所述负载，并且其中在定位所述负载的定位工序中，第一电动机适于提供比第二电动机更高的推动力，而第二电动机适于提供比第一电动机更高的定位精度，其中在所述定位负载的所述定位工序开始时，须将所述第一电动机和第二电动机的力结合起来在一相对较大距离上移动所述负载；而在所述定位负载的所述定位工序结束时，所述第一电动机需要退出工作，所述第二电动机需要继续产生力，用以微调所述负载的位置。