陶瓷压力测量单元

摘要

本发明涉及一种压力测量单元61，其包括至少一个陶瓷测量膜主体62和至少一个陶瓷主体63，所述测量膜主体62沿环状圆周接合部连接到所述陶瓷主体63，其特征在于，所述接合部形成为在所述测量膜体62和所述陶瓷主体63之间的焊接连接，其中所述测量膜主体包括可根据压力变形的测量膜。一种压力传感器60包括根据本发明的压力测量单元61和外壳70，其中所述压力测量单元61被所述外壳70保持，并且其中所述压力测量单元61封闭外壳开口71，所述压力测量单元61通过所述外壳开口与所述外壳70的环境连通，其中，垫圈73被夹在包围所述开口71的所述外壳的密封表面72和所述压力测量单元61的密封表面64之间。

主权项

一种压力传感器(60)，包括压力测量单元(61)和外壳(70)，其中所述压力测量单元(1；11；21；41；61；91)包括：至少一个陶瓷测量膜主体(2；12；22；42；62；92)，其中，所述测量膜主体(2；12；22；42；62；92)具有可压力相关变形的测量膜；和至少一个陶瓷平台(3；13；23；43；63；93)，其中，所述测量膜主体(2；12；22；42；62；92)沿环状、外围接合部(3；13；23；43；63；93)与所述平台连接，其特征在于，所述外围接合部形成为在所述测量膜主体(2；12；22；42；62；92)和所述平台(3；13；23；43；63；93)之间的焊接连接，其中，所述平台(23；43；63；93)包括环状膜支撑(23a；43a；63a；93a；93d)，所述测量膜主体(22；42；62；92a；92b)通过所述外围接合部固定至所述环状膜支撑，其中，所述压力测量单元还包括中心换能器支撑(23b；43b；63b；93b；93e)，所述中心换能器支撑被所述膜支撑(23a；43a；63a；93a；93d)围绕，其中，所述换能器支撑(23b；43b；63b；93b；93e)的端面包括至少一个电极，所述电极面对所述测量膜主体，其中，所述测量膜主体包括电极，所述电极面对所述换能器支撑(23b；43b；63b；93b；93e)，其中，沿至少第二接合部压力密封地连接所述换能器支撑与所述膜支撑(23a；43a；63a；93a；93d)，其中，所述压力测量单元包括用于密封环的承载表面，其中，在所述测量膜主体和所述平台之间形成所述外围接合部的平面上的所述承载表面的轴向投影围绕所述外围接合部，其中，用于密封环的承载表面在第一平面中，其中，所述第一平面与第二平面轴向隔开，在所述第二平面中，所述测量膜的外部端面延伸，并且实际上延伸所述测量膜主体的至少四分之一直径，其中所述压力测量单元(61)被所述外壳(70)保持，并且其中，所述压力测量单元(61)封闭外壳开口(71)，所述压力测量单元通过所述外壳开口与所述外壳(70)的环境连通，其中，密封环(73)被夹在围绕所述外壳(70)的所述开口(71)的密封表面(72)和所述压力测量单元(61)的承载表面(64)之间，使得所述外围接合部被暴露到所述外壳的所述环境。