发明名称 INK-BASED LAYER FABRICATION USING HALFTONING TO CONTROL THICKNESS
摘要 물질 층을 희망 두께로 증착하기 위한 잉크 젯 공정이 사용된다. 레이아웃 데이터가 셀별(per-cell) 그레이스케일 값으로 변환되며, 각각의 그레이스케일 값이 국소적으로 전달될 잉크 부피를 나타낸다. 상기 그레이스케일 값은 하프톤 패턴을 생성하여, 가변 잉크 부피(및 두께)를 기판으로 전달하도록 사용된다. 하프토닝이 (의도되지 않은 갭 또는 구멍이 없는) 비교적 연속인 층을 제공하면서, 가변 부피를 제공하고, 따라서 가변 잉크/물질 구축에 기여하여 희망 두께를 획득할 수 있다. 잉크가 물질 층을 형성하도록 사용되는 물질, 가령, 평면 패널 소자용 봉지층을 형성하기 위해 사용되는 유기 물질이 현탁된 액체 또는 에어로솔로 분사된다. 그 후 증착된 층이 경화되거나 그 밖의 다른 방식으로 완성되어 공정을 완료할 수 있다.
申请公布号 KR20160098376(A) 申请公布日期 2016.08.18
申请号 KR20167018761 申请日期 2014.08.12
申请人 KATEEVA, INC. 发明人 VRONSKY ELIYAHU;HARJEE NAHID
分类号 H01L51/52;B41J2/205;H01L21/02;H01L21/66;H01L33/56;H01L51/00 主分类号 H01L51/52
代理机构 代理人
主权项
地址