A PROCESSING APPARATUS FOR PROCESSING DEVICES, PARTICULARLY DEVICES INCLUDING ORGANIC MATERIALS THEREIN, AND METHOD FOR TRANSFERRING AN EVAPORATION SOURCE FROM A PROCESSING VACUUM CHAMBER TO A MAINTENANCE VACUUM CHAMBER OR FROM THE MAINTENANCE VACUUM CHAMBER TO THE PROCESSING VACUUM CHAMBER

摘要

디바이스들, 특히, 디바이스들 내부에 유기 재료들을 포함하는 디바이스들을 프로세싱하기 위한 프로세싱 장치가 설명된다. 프로세싱 장치는, 프로세싱 진공 챔버; 유기 재료를 위한 적어도 하나의 증발 소스 ― 적어도 하나의 증발 소스는 적어도 하나의 증발 도가니(evaporation crucible), 및 하나 또는 그 초과의 배출구들을 갖는 적어도 하나의 분배 파이프를 포함하고, 적어도 하나의 증발 도가니는 유기 재료를 증발시키도록 구성되며, 적어도 하나의 분배 파이프는 적어도 하나의 증발 도가니와 유체 연통함(fluid communication) ―; 및 프로세싱 진공 챔버와 연결된 유지 진공 챔버를 포함하고, 적어도 하나의 증발 소스는 프로세싱 진공 챔버로부터 유지 진공 챔버로 그리고 유지 진공 챔버로부터 프로세싱 진공 챔버로 이송될 수 있다.