发明名称 |
在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置 |
摘要 |
本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置,用于制备TEM样品架(170)的样坯(100),其包括片材(120),所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170),所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合,所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品,用于在TEM中进行检验。 |
申请公布号 |
CN101644642A |
申请公布日期 |
2010.02.10 |
申请号 |
CN200910164660.2 |
申请日期 |
2004.11.03 |
申请人 |
全域探测器公司 |
发明人 |
托马斯·穆尔 |
分类号 |
G01N1/28(2006.01)I;G01N1/36(2006.01)I;G01N23/04(2006.01)I;G01N23/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01N1/28(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
王琼先;王永建 |
主权项 |
1.一种TEM样品架,所述TEM样品架包括:一个环,所述环具有圆周间隙;所述圆周间隙通过从TEM样品架模板上切削出圆周间隙而形成。 |
地址 |
美国得克萨斯 |