大口径精密光学元件表面缺陷检测的旋转照明方法及装置

摘要

本发明公开了一种大口径精密光学元件表面缺陷检测的照明方法及装置。由于疵病方向的任意性，装置中须设置足够数量的照明光源，使元件表面任意方向疵病都能得到良好的照明。本发明通过采用旋转光源，解决了足够数量大口径照明光源和较小装置质量难以共存的难题。本发明技术特点在于：采集某视场内疵病图像时，将固定有少量照明光源筒的光源支架进行多次旋转，分别采集光源支架处于不同位置的疵病图像，这些图像叠加后的图像将包含此视场内全部疵病，相当于使用了更多数量的照明光源筒，装置质量小；设计了与旋转照明方式相对应的图像叠加算法；设计了可实现旋转光源的紧凑的机械结构。本发明为精密光学元件表面缺陷检测提供了一种实用的照明方法。

主权项

1.一种大口径精密光学元件表面缺陷检测的旋转照明方法，其特征在于将n束照明光源筒固定在一起，采集某一视场内疵病图像时，将固定在一起的n束照明光源筒进行m-1次旋转，然后利用变焦显微镜和CCD采集照明光源筒处于不同旋转位置时的疵病图像，再将此视场内所有疵病图像共m幅进行叠加，叠加后的图像将包含此视场内全部疵病，相当于使用了m×n束照明光源筒对元件表面进行照明，达到了使元件表面任意方向缺陷产生散射光的目的，可对疵病达到微米量级的分辨率。