| 摘要 |
装置は、試料に干渉光を照射する干渉光源(103)と、試料に励起光を照射する励起光源(101)と、試料上の励起光の照射位置および照射形状の少なくともいずれかを制御する走査ユニット(102)と、試料からの混合信号を干渉信号および分光信号に分離する信号分離ユニット(106)と、分光信号および干渉信号を測定する少なくとも一つの検出器(109,112)と、分光信号を分光データに変換し、干渉信号を干渉画像に変換する少なくとも一つの処理ユニット(110, 113)と、干渉画像に基づいて走査ユニット(102)を制御するフィードバックユニット(118)と、を備えている。【選択図】図１ |
