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发明名称 INTEGRATED DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD FOR A CANTILEVER AND A LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 KR19980065177(A) 申请公布日期 1998.10.15
申请号 KR19970000024 申请日期 1997.03.01
申请人 KOREA INST SCI & TECH 发明人 JEON SO GEUN;HONG SEONG CHEOL
分类号 H01S5/30 主分类号 H01S5/30
代理机构 代理人
主权项
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