发明名称 | 器壁清洗装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种器壁清洗装置,包括:一连接管,其上设有数个喷头;数个支架的一端连接于该连接管;及一中空体的一器壁连接于该支架的另一端。如此,可防止结晶物沉积在器壁上,及消除该结晶物掉落于晶圆上而产生缺陷的现象。 | ||
申请公布号 | CN1634670A | 申请公布日期 | 2005.07.06 |
申请号 | CN200310109861.5 | 申请日期 | 2003.12.30 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 吴锦亮;赵主巨;酆黎明 |
分类号 | B08B9/08;B08B3/08 | 主分类号 | B08B9/08 |
代理机构 | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 竺明;谢晋光 |
主权项 | 1.一种器壁清洗装置,包括:一连接管,设置于一中空体内腔,其上设有数个喷头;及数个支架,其一端连接于该连接管,具有足够强度支承该连接管;一中空体的器壁内面连接于所述的数个支架的另一端;所述的连接管由该中空体的外部引入洗剂,以由所述的喷头喷出。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 |