PROCESS FOR FABRICATING ALUMINIUM NITRIDE, AND ALUMINIUM NITRIDE WAFER AND POWDER

摘要

L'invention concerne un procédé de fabrication de nitrure d'aluminium dan s lequel on prépare par empilement ou par enroulement une structure multicou che comprenant des produits laminés à base d'aluminium et on la chauffe sous une atmosphère azotée, la majorité de la nitruration se produisant au cours d'une phase dans laquelle la température de l'atmosphère azotée est mainten ue entre 400 °C et 660 °C. L'invention permet d'obtenir du nitrure d'alumini um par un procédé économique ne nécessitant ni l'utilisation de poudre d'alu minium comme matière première, ni l'utilisation de très hautes températures. Le nitrure d'aluminium obtenu comprend des particules dont la structure mic roscopique est stratifiée.