| 发明名称 | 基片架控制装置、基片架移动控制方法及沉积装置 | ||
| 摘要 | 一种基片架控制装置，包括：基片架升降电路，用于控制基片架升降；还包括：颜色传感器，位于基片上方，用于根据基片表面的反射光控制基片架升降电路工作与否。本发明还提供一种基片架移动控制方法以及一种沉积装置，本发明通过在位于基片架上的基片上方设置颜色传感器，以便检测位于其基片架上的基片放置位置是否正确，防止基片架继续动作破坏基片。 | ||
| 申请公布号 | CN101459037A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200710094478.5 | 申请日期 | 2007.12.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 陈勇志;吴侃;姚彦斌;李广宁 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;C23C16/00(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
| 主权项 | 1. 一种基片架控制装置，包括：基片架升降电路，用于控制基片架的升降；其特征在于，还包括：颜色传感器，位于置于基片架上的基片上方，用于根据基片表面的反射光控制基片架升降电路工作与否。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||