Verstärkeranordnung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Verstärkeranordnung (1), umfassend: einen optischen Verstärker (2) zur Verstärkung von Laserstrahlung (3), einen ersten Retroreflektor (7a) und einen zweiten Retroreflektor (7b), wobei der Verstärker (2) in einem Strahlweg (6) der Laserstrahlung (3) zwischen dem ersten Retroreflektor (7a) und dem zweiten Retroreflektor (7b) angeordnet ist, wobei im Strahlweg (6) zwischen dem ersten Retroreflektor (7a) und dem Verstärker (3) ein Polarisations-Strahlteiler (8) angeordnet ist, der Laserstrahlung (3) mit einem ersten Polarisationszustand (s) entlang des Strahlwegs (6) zwischen den beiden Retroreflektoren (7a, 7b) passieren lässt und der Laserstrahlung (3) mit einem zweiten Polarisationszustand (p) aus dem Strahlweg (6) zwischen den beiden Retroreflektoren (7a, 7b) auskoppelt, und wobei im Strahlweg (6) zwischen dem Polarisations-Strahlteiler (8) und dem zweiten Retroreflektor (7b) eine Phasenschiebe-Einrichtung (9) zur Erzeugung einer festen Phasenverschiebung (λ/4) zur Umwandlung von Laserstrahlung (3) mit dem ersten Polarisationszustand (s) in Laserstrahlung (3) mit dem zweiten Polarisationszustand (p) und umgekehrt angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch eine weitere Verstärkeranordnung (1), eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung und eine Laserbearbeitungsmaschine mit einer solchen bzw. der weiteren Verstärkeranordnung (1) und ein Betriebsverfahren.