发明名称 A WASHING TABLE
摘要 세정용 작업대를 개시한다. 이러한 세정용 작업대는, 내부가 관통된 상태의 챔버를 구비한 챔버하우징이 놓여지는 작업대 본체와, 상기 챔버하우징의 챔버 측에 세정액이 담겨질 수 있는 상태로 상기 챔버하우징을 받쳐줄 수 있도록 상기 작업대 본체 측에 형성되는 받침부와, 상기 받침부와 상기 챔버하우징의 접촉 부분이 시일 상태를 이룰 수 있도록 상기 받침부 측에 형성되는 시일부 그리고, 상기 챔버하우징을 상기 받침부 측에 받쳐진 상태로 고정할 수 있도록 상기 작업대 본체 측에 형성되는 고정구를 구비한 고정부를 포함한다.
申请公布号 KR101623965(B1) 申请公布日期 2016.05.24
申请号 KR20140135138 申请日期 2014.10.07
申请人 주식회사 싸이노스 发明人 이명우;이우규
分类号 H01L21/02;H01L21/203;H01L21/302 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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