发明名称 Verfahren zum Schneiden von Werkstück und Werkstückhalter
摘要 Die vorliegende Erfindung ist ein Verfahren zum Schneiden eines Werkstücks, das Folgendes einschließt: Messen einer Kristallachsausrichtung, während ein Werkstück mit einem Werkstückhalter gehalten wird, Einstellen des Werkstückhalters, der das Werkstück hält, auf eine Drahtsäge, so dass die gemessene Kristallachsausrichtung erhalten bleibt, anschließend Anpassen einer Ausrichtung einer geschnittenen Ebene und Drücken des Werkstücks gegen eine Drahtreihe zum Schneiden des Werkstücks, wobei der Werkstückhalter einen Gleitabschnitt, der verschiebbar ist, während das Werkstück gehalten wird, und einen Befestigungsabschnitt zum Befestigen des Gleitabschnitts einschließt, und wobei das Verfahren nach dem Messen der Kristallachsausrichtung ein Verschieben des Gleitabschnitts, so dass er zu einem Zentrum des Werkstückhalters auf eine derartige Weise bewegt wird, dass die gemessene Kristallachsausrichtung erhalten bleibt, ein Befestigen des Gleitabschnitts durch den Befestigungsabschnitt, ein Einstellen des Werkstückhalters auf die Drahtsäge, anschließend ein Anpassen der Ausrichtung der geschnittenen Ebene und ein Schneiden des Werkstücks einschließt. Infolgedessen ist ein Verfahren zum Schneiden eines Werkstücks und ein Werkstückhalter bereitgestellt, die eine Ausrichtungsmessung ermöglichen, unabhängig von der Begrenzung eines Abstands zwischen einem Ausrichtungsmessgerät und einer zu messenden Ebene, und eine Schädigung aufgrund von Verzug und ein Brechen des Werkstücks hemmen können.
申请公布号 DE112014005470(T5) 申请公布日期 2016.08.11
申请号 DE20141105470T 申请日期 2014.11.27
申请人 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 发明人 Uchiyama, Atsuo;Takano, Hisakazu;Saitoh, Masahito;Kouzu, Hirotoshi
分类号 H01L21/304;B24B27/06;B28D5/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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