发明名称 |
一种碳化硅晶体表面台阶宽度的检测方法 |
摘要 |
本发明属于新材料加工技术领域,发明人首次提出采用傅里叶变换来测量晶体平台宽度的概念,以分布图的形式直观得到晶体生长后的平均平台宽度,打破了以往常规的传统人工测量晶体台阶的方法,以及观察范围窄、测量成本高、耗时等弊端,不论是何种晶体类型或是角度,观察范围广,从微观到宏观都能连续可测,可以真实地反映晶体表面台阶情况,是目前最直接有效的检测晶体表面台阶的方法。 |
申请公布号 |
CN106123758A |
申请公布日期 |
2016.11.16 |
申请号 |
CN201610464045.3 |
申请日期 |
2016.06.23 |
申请人 |
山东天岳先进材料科技有限公司 |
发明人 |
朱灿;吕宇君;宋建;刘加朋 |
分类号 |
G01B7/02(2006.01)I;G01B7/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01B7/02(2006.01)I |
代理机构 |
济南舜源专利事务所有限公司 37205 |
代理人 |
赵斌;苗峻 |
主权项 |
一种碳化硅晶体表面台阶宽度的检测方法,其特征在于:包括以下步骤:首先,获取碳化硅晶体表面的轮廓图,其中微观层面采用AFM进行检测,宏观层面则采用台阶仪检测;然后在得到的轮廓图上,沿着台阶流动的方向任意取一条轮廓线,其轮廓线的长度需涵盖所需检测的范围;接着对选取的轮廓线经过光滑处理后得到轮廓曲线,从该曲线图中可看到尺寸不一的巨型台阶和平台;采用傅里叶变换的方法,对该轮廓曲线进行信号处理,最终可得波数频率分布图,依据波数与波长之间的倒数关系,由此推出平台宽度的分布,得知晶体生长后的平均平台宽度。 |
地址 |
250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01室 |