直接液体堆積

摘要

コーティング物質及び溶媒の液体前駆体が容器内に提供される（ステップ１、ステップ１’）。一変形例では、液体前駆体が蒸留されて（ステップ２）、結果物の液体コーティング物質が気化されて（ステップ３）、蒸気分布ノズル装置（７）を通って、真空容器（３）内に、そしてコーティングされる基板（５）の上に放出される。代わりに、液体前駆体が直接気化される（ステップ３’）。二成分蒸気から、コーティング物質蒸気が、コーティングされる基板５’に適用される。この変形例では、溶媒蒸気とコーティング物質蒸気との分離は、特に気化の下流において行われる（ステップ２’）。