| 发明名称 |
A method of and arrangement for controlling the density of a vapour deposition flow and/or its distribution |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2247856(B) |
申请公布日期 |
1994.05.11 |
| 申请号 |
GB19910019398 |
申请日期 |
1991.09.11 |
| 申请人 |
* BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
URS * WEGMANN;ALBERT * KOLLER;JOSEF * VOGT |
| 分类号 |
H01J37/30;C23C14/30;H05B7/00;(IPC1-7):B23K15/08 |
主分类号 |
H01J37/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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