| 发明名称 |
Neue Verbindungstechnik in bedeckten TiSi2/TiN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69430461(T2) |
申请公布日期 |
2002.11.14 |
| 申请号 |
DE1994630461T |
申请日期 |
1994.01.11 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
JENG,SHIN-PUU |
| 分类号 |
H01L21/8249;H01L21/768;H01L23/532;H01L27/06;(IPC1-7):H01L23/532 |
主分类号 |
H01L21/8249 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
