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经营范围
发明名称
Verfahren zum selektiven Entfernen von Siliziumdioxid
摘要
申请公布号
DE59611182(D1)
申请公布日期
2005.02.24
申请号
DE19965011182
申请日期
1996.04.19
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
SCHEITER, THOMAS;NAEHER, DR.;HIEROLD, DR.
分类号
H01L21/00;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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