发明名称 Verfahren zum selektiven Entfernen von Siliziumdioxid
摘要
申请公布号 DE59611182(D1) 申请公布日期 2005.02.24
申请号 DE19965011182 申请日期 1996.04.19
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHEITER, THOMAS;NAEHER, DR.;HIEROLD, DR.
分类号 H01L21/00;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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