发明名称 | 除尘装置 | ||
摘要 | 提供可以充分地除去附着在立体的形状、具有凹凸的复杂的形状的零件上的异物的除尘装置。该除尘装置具备:具有保持处理对象50的保持台30的除尘室12;对处理对象50吹送空气的空气喷射装置22;和从除尘室12吸引尘埃的负压产生装置18;其中除尘室12,具有用于使保持台30平面移动的保持台移动装置,保持台30,被构成为可以倾斜。 | ||
申请公布号 | CN101036914A | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
申请号 | CN200610057006.8 | 申请日期 | 2006.03.13 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 伊藤文人 |
分类号 | B08B5/00(2006.01) | 主分类号 | B08B5/00(2006.01) |
代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 段承恩;杨光军 |
主权项 | 1.一种除尘装置,该除尘装置具有:具备保持处理对象的保持台的除尘室;对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置;和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置;其特征在于,前述除尘室,具有用于使前述保持台平面移动的保持台移动装置;前述保持台,被构成为可以倾斜。 | ||
地址 | 日本东京都 |